概　 要 

This equipment is oscillation formula polish equipment for FPD、 LCD Glass substrate etc. The design follows design concept of time-proven traditional PW series and establishes further efficiency, maintainability and cost reduction.

         本机器是用于FPD、LCD玻璃基板等的摇动式单面抛光装置，有着多年的实际成绩，以优秀的设计理念，以进一步达到提高机械性能和配备性，以降低机器的运转成本。另外，此种类型机器能够承担高负荷，进一步强化机体钢度性的同时，也能根据气缸来调节加压、减压操作。

 purpose and mechanism

使用目的及构造

　　1. This equipment is employed for polishing process of FPD bare glass mirror surface.

用于FPD玻璃基板、及其他高精度玻璃基板的单面抛光加工。

   2．This equipment holds glass with pressure plate and polish it with lower surface plate attached polishing pad.

抛光方式是通过Template＆Back pad 和吸附垫贴在下定盘上来保持作业，和贴有抛光垫的上定盘进行抛光加工的形式。

  3． Two slide rails for oscillation secures excellent durability to make failure frequency minimum.To compare with the anciently “Oscar type”(circular oscillation type)polishing equipment, You can hardly afraid the trouble.

由于使用了2根平行滑动用的导轨，所以具有良好的耐久性，与以往的弧形摇动方式的抛光装置相比，几乎不用担心会发生故障。

 4．High rigidity of equipment body minimizes frequency of unnecessary oscillation toachieve polished surface of high-grade.

本装置的机械刚度高，抛光时不会发生有害的震动，有利于得到高质量的抛光产品。

  5．Due to its simple structure, there are less parts which can be a source of failure which decreases maintenance time and running cost. 

由于结构简单，构成故障原因的部分少，能用较短的时间进行保养，有利于降低运转成本。

 6. The pressurization regulation is controlled by the pressure plate and the cylinder who can officiate the slight pressurization and decomress enactment.

作业时的加压调节是由上定盘的自重和能够进行轻微的加压、减压设定的气缸来控制的。

  7.Machine has the function of polishing switch, convenient and polishing of the recovery and the cleaning of the machine

机器具有抛光液切换功能，方便抛光液的回收和机器的清洗

Process flow

工作流程

1. 把工件粘贴在下定盘（使用模板或自动吸附

　　　　　　　↓

2.  按“开始”键。

3.  上定盘水平、下降，下降到一定位置开始供应抛光液。

　　　　　　　↓

4. 上下定盘接触后，下定盘开始旋转

               ↓

5. 上定盘开始摇动

　　　　　　　↓

6. 初期抛光压力：负压、自重、加压等各种条件任意设定

　　　　　　　↓

7. 抛光压力：负压、自重、加压各种条件任意设定

　　　　　　　↓

8.  抛光时间到，摇动停止

　　　　　　　↓

9.下定盘停止旋转

　　　　　　　↓

10.抛光液停止

　　　　　　　↓

11.上定盘上升、倾斜

　　　　　　　↓

12.从装置上取出工件

　　　　　　　↓

13.结束