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不锈钢材料因其抗腐蚀和抗氧化性能成为高纯气体系统的材料。316L 不锈钢因能抵抗焊接或应力释放后的晶间腐蚀为通用。为保证流体产品的性能，材料成分含量和杂质控制是关键因素之一，直接影响流体产品加工后的延展性、抗腐蚀性能和焊接后性能。
1. 铬 Cr - 抗氧化性，抗腐蚀性高的铬 Cr 含量，能保证不锈钢表面形成氧化铬层厚度并提高抗腐蚀性能。
2. 镍 Ni - 稳定奥氏体结构，延展性高的镍 Ni 含量，能稳定奥氏体结构，保证不锈钢在更宽的温度范围和不同的流体介质中的延展性。
3. 碳 C - 晶间腐蚀，碳化物低的碳 C 含量，能防止晶间腐蚀，同时防止在焊接后碳化物的析出。
4. 硫 S - 焊接性能，硫化物低的硫 S 含量，同时材料中硫 S 含量在窄的变化范围内，才能保证的焊缝形状，既没有凹陷也没有凸起，在焊接内壁形成真正的完全焊透，是高纯应用的必然要求。一致的半导体级焊接质量才能满足半导体工程建设的高质生产施工。
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