我们的产品广泛应用于半导体行业、光伏行业、真空行业、分析仪器行业、热处理行业...
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气体质量流量控制器在镀膜、半导体、石油石化、煤炭冶金、制气配气等各种仪器测量分析中起到重要应用。弗罗迈大量程气体质量流量控制器/气体质量流量计的主要功能特点如下:
1、热式原理,响应快,精度高。
2、管状分流,不易堵塞。
3、适用于各种低压和高压管道。
4、预热时间短,零漂小,可靠性高。
5、数字易输入/输出,可使用流量计算机控制或显示流量。
6、质量流量控制器由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成,利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。
7、采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,不受温度压力的影响,将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。