联系姓名:叶辉
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所在地区:湖北/武汉市
主营产品:桌面型真空镀膜仪_小型磁控溅射镀膜仪_小型电阻蒸发镀膜仪
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1.腔室尺寸:Ф246×228mm(具体尺寸以设计为准),1Cr18Ni9Ti**不锈钢材质,氩弧焊接;整体可置于手套箱内;
2.样品台尺寸:可拆卸式,尺寸60mm,旋转:0-20r/min可调;基片可加热至3001℃(选配)
3.真空系统:机械泵(TRP-~8×10-4Pa 3组水冷式电阻蒸发源,0 W2000W连续可调,供3组蒸发源切换使用;
9.膜厚控制系统:进口Inficon SQM-160单水冷探头,控制精度0.1Å;
10.控制方式:PLC+触摸屏智能控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能;
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