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主营产品：桌面型真空镀膜仪_小型磁控溅射镀膜仪_小型电阻蒸发镀膜仪
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1.腔室尺寸：，60600-20r/min可调；基片可加热至±℃（选配）
3.真空系统：机械泵TRP-L/s(Hipace80,67L/s)；4.极限真空：-55.真空抽速：大气～8×10Pa≤36.真空测量：全量程复合真空计，测量范围：5～-5；
3组水冷式电阻蒸发源， 8.蒸发电源：直流蒸发电源1台，～3组蒸发源切换使用；
Inficon SQM-160单水冷探头，控制精度10 PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；
1 11.设备外形：6060801个 1≤2KW220V，单相三线制（一火一零一地）；
13.冷却循环系统：水压～1025℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；
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