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主营产品：桌面型真空镀膜仪_小型磁控溅射镀膜仪_小型电阻蒸发镀膜仪
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1.真空腔室：246*228不锈钢材质，氩弧焊接；
2.基片台：尺寸100mm，60-120mm高度可调，可旋转及加热300度；
3.真空系统：机械泵+进口分子泵
4.极限真空：-55.真空抽速：大气～8×10Pa≤36.真空测量：全量程复合真空计，测量范围：5～-5；
7.磁控靶：2只（含靶挡板），兼容直流电源和射频电源；
8.溅射电源：500W直流溅射电源和300W全自动匹配射频电源；
9.质量流量计：进口0sccm50sccm 控制器各一套；
Inficon SQM-160单水冷探头，精度1Å（选配）；
PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；
L60cm×W60cm×H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口；
1≤2KW220V，单相三线制（一火一零一地）；
14.冷却循环系统：水压～1025℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；
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