武汉维科赛斯科技有限公司

桌面型真空镀膜仪_小型磁控溅射镀膜仪_小型电阻蒸发镀膜仪

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有机金属蒸发镀膜仪
价格: 1.00/元套
起订量: 1 套
产品品牌: 武汉维科赛斯
地址: 武汉市东湖新技术开发区光谷大道58号1栋电商办公楼二层G0099号

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联系姓名:叶辉

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所在地区:湖北/武汉市

主营产品:桌面型真空镀膜仪_小型磁控溅射镀膜仪_小型电阻蒸发镀膜仪

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产品分类

  • 暂无分类
  • 库存数量 1
  • 挡板类型 电控
  • 产品 小型蒸镀仪
  • 加热方式 数字式功率调整器
  • 用途 实验室科研探究
  • 输出电流 电流≤120A

1真空腔室:采用立式、U形、前开门结构,前开门结构方便取、放样品及真空腔室日常维护。

2 蒸发源:配6组蒸发源(金属蒸发源2组,有机蒸发源4组),也可根据具体需求组合配置;

3 真空系统:采用“分子泵+机械泵”真空系统;高真空插板阀;

4 真空测量:“两低一高”(两只电阻规测量低真空,一只电离规测量高真空) 数显复合真空计,测量范围从5-5×120mm加热温度300±1℃转速<span style="font-family:"line-height:150%;font-size:12pt">0~20r/min连续可调;载物台采用硬铝,并配有簧片夹具,基片置于蒸发源正上方,根据基片尺寸设计工装,方便固定样品,配有基片台挡板。

6 膜厚仪:膜厚仪水冷探头安装在基片架上基片台附近。膜厚仪用以实时监测镀膜速率和终厚,精度可达±0.1A(0.01nm),具备与电源联锁功能,工作时,若镀膜达到设置厚度,可自动切断电源,停止镀膜

7 控制系统:整套控制系统采用PLC+触摸屏控制,有自动及手动两种功能,可在触摸屏上输入参数以便进行镀膜工艺参数的摸索等;

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