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主营产品：桌面型真空镀膜仪_小型磁控溅射镀膜仪_小型电阻蒸发镀膜仪
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Ф246×228mm（具体尺寸以设计为准）1Cr18Ni9Ti**不锈钢材质，氩弧焊接；
Фmm，高度：0-20r/min可调；可加热至℃；同时可选配偏压功能；
（12,3S(Hipace80,67L/s)；DNmm 限流阀；
8.0×10Pa；
-4 0min；
10Pa10Pa7 磁控靶：8 溅射电源：500W直流溅射电源和300W全自动匹配射频电源；
1、10 10 膜厚控制系统：进口Inficon SQM-160单水冷探头，精度0.1PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；
2 12 设备外形： 3 设备供电总功率，10.20.4MPa，水温～<span style="word-break:break-all" line-height:24px;font-size:12pt"="">25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；
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