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无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
标准
风系统流程图
系统采用的是全新风空调箱+FFU系统.
<1>全新风空调箱结构
<2>FFU:(FAN FILTER UNIT) 即风机和过滤器
千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995%
水系统水系统流程图(现场画)
冰水系统分为一次侧和二次侧.
一次侧冰水水温7-12度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供给干盘管系统.
一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接.
板式换热器原理(现场画图).
干盘管:不结露的盘管,因无尘室温度在22度,其露点温度12度左右,故7度冰水不能直接进入无尘室,所以进干盘管的冰水温度在12-14度.
控制系统(DDC)
温度:干盘管系统控制
湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量
正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量
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