超纯水设备的工作原理主要基于以下步骤：

预处理。使用多介质过滤器、活性炭过滤器及保安过滤器去除原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质。这确保原水符合后续处理单元的要求。

反渗透。通过施加比自然渗透压力更大的压力，使水分子由浓度高的一方逆渗透到浓度低的一方。反渗透膜的孔径非常小，能够阻止病毒、细菌、重金属、固体可溶物和污染有机物等通过，从而净化水质。

离子交换。使用离子交换混床进行深度脱盐，进一步降低水的离子含量。

后处理。通过紫外线杀菌器和精密过滤器防止细菌的二次污染，确保产水符合国家电子级水的技术指标。

超纯水设备的工作流程是通过组合这些过滤方法，层层过滤原水，达到超纯水的标准。这些步骤共同作用，确保产出的水满足各种应用需求，如半导体、电子工业和实验室等领域的精密清洗和加工。