1.腔室尺寸：Ф246×228mm（具体尺寸以设计为准），1Cr18Ni9Ti**不锈钢材质，氩弧焊接；整体可置于手套箱内；

      2.样品台尺寸：可拆卸式，尺寸60mm，旋转：0-20r/min可调；基片可加热至3001℃（选配）

      3.真空系统：机械泵（TRP-～8×10^-4Pa 3组水冷式电阻蒸发源，0 W2000W连续可调，供3组蒸发源切换使用；

           9.膜厚控制系统：进口Inficon SQM-160单水冷探头，控制精度0.1Å；

10.控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；