Ф246×228mm（具体尺寸以设计为准）1Cr18Ni9Ti**不锈钢材质，氩弧焊接；

Фmm，高度：0-20r/min可调；可加热至℃；同时可选配偏压功能；

（12,3S(Hipace80,67L/s)；DNmm 限流阀；

8.0×10^Pa；

-4 0min；

10^{Pa10Pa7 磁控靶：8 溅射电源：500W直流溅射电源和300W全自动匹配射频电源；}

1、10 10 膜厚控制系统：进口Inficon SQM-160单水冷探头，精度0.1PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；

2 12 设备外形：  3 设备供电总功率，10.20.4MPa，水温～<span style="word-break:break-all" line-height:24px;font-size:12pt"="">25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；