我公司生产的金刚石研磨液产品是以精密整形、分级后的超硬材料金刚石精密微粉为原材料,经特殊工艺复配化学试剂制作的悬浮液,根据介质的不同可分为水性和油性体系,在有些使用厂家该产品也被称为钻石液。
针对LED衬底精研磨和外延片减薄工序用的金刚石研磨液,在研磨过程中磨练颗粒采用单颗粒多点研磨,不仅保证了持续效率的研磨效果,同时,精密分级后的磨料金刚石不含异常大颗粒且整体分散均匀,也保障了不会对加工件表面造成损伤,避免了LED衬底片减薄过程中的碎片和伤片现象。
本产品适用于LED蓝宝石和碳化硅等衬底片的精密加工,同时也适用于其他脆硬材料的研磨和抛光过程。
实际产品可根据用户工艺的设备特点和产品技术要求等情况调整设计。
产品参考使用指标
金刚石研磨液产品使用时多配套的单面研磨设备有NTS、SHUWA、Kemet、Engis、WSC等厂家,在LED衬底加工工艺中,客户会根据自己的工艺来合理选配设备、工艺及对应耗材。一般会关注的产品技术指标有:
去除速率
以单位时间去除的材料厚度来评定,单位:um/min
表面研磨质量
可以表面粗糙度Ra值(≤多少nm或A)衡量,也有易直观的肉眼观察凭经验判定,或结合生物显微镜做以辅助观察。
稳定性
两方面:产品单批词内每瓶之间的差异性以及多批次之间的差异。
整体评价
技术交流及沟通供货周期、服务质量等。
(图为产品中随机抽样颗粒分布显微图像,显示单颗粒分散均匀,无团聚且悬浮性好)