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一、产品简介

AGP730是一款高精度电容式真空计（亦称电容薄膜式压力计（CDG）），适用于在光伏、半导体及工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空压力范围。AGP730使用全Inconel®接液材料，可耐受腐蚀性工艺介质。符合RoHS规范的高频电子设计，具备特别低噪声的同时保持快速响应时间，满足当今关键控制应用需求。相比于竞品型号，其外部噪声抑制、快速预热、不受环境影响及长期稳定性等特点更为突出。

二、产品特点

• 耐化学品的Inconel®设计 

• 精密真空测量 

• 行业标准接头 

• 高精度：标准±0.5%读数，可选±0.25%读数 

• 张紧的膜片保证优异的性能 

• 工作温度补偿范围宽 

• 电路噪声低、响应快 

• 不易受环境条件变化影响 

• 出色的抗过压设计 

• 符合 CE 和 RoHS 规范

三、应用场景

• 半导体行业 

• PECVD/ALD工艺设备 

• 等离子体刻蚀工艺设备 

• 石化行业 

• 等离子体灭菌器 

• 真空包装

技术参数