低温等离子除臭设备中的介质阻挡放电的过程中，等离子体内部产生富含很高化学活性的粒子，如电子、离子、臭氧和激发态分子等，理论上VOCs与这些具有较高能量的活性基团发生反应，部分会被裂解，zui终转化为CO₂和水等物质，从而达到净化废气的目的。