在AlN陶瓷中的应用,氮化铝(AlN)为六方纤锌矿结构,具有良好的抗热震性、绝缘体、热膨胀系数低和力学性能,理论热导率达320W·m-1·K-1,即使在特殊气氛中也有优异的耐高温性能,是理想的大规模集成电路基板和封装材料,但其抗氧化性很差。
氮化铝陶瓷出色的导热性能
(1)热导率高,满足器件散热需求;
(2)耐热性好,满足功率器件高温(大于200°C)应用需求;
(3)热膨胀系数匹配,与芯片材料热膨胀系数匹配,降低封装热应力;
(4)介电常数小,高频特性好,降低器件信号传输时间,提高信号传输速率;
(5)机械强度高,满足器件封装与应用过程中力学性能要求;
(6)耐腐蚀性好,能够耐受强酸、强碱、沸水、有机溶液等侵蚀;
(7)结构致密,满足电子器件气密封装需求。