氦氖(HeNe)激光器是首先实现激光振荡输出的气体激光器。HeNe激光器输出的是Ne的光谱线，在可见和红外波段有多条，其中强的是0.6328μm、1.15μm 和3.39μm 三条谱线。我们可以采取一些方法去抑制其中的两种，而使我们所需要的一种波长的激光得到输出。632.8nm（红光）因输出为可见波段的激光，实际应用较为广泛。

由于HeNe激光束具有单色性和方向性好,输出功率和波长能够控制得很稳定，并且结构简单、造价低廉等优点，因而广泛应用于精密计量、检测、准直、信息处理，以及光学实验等多个方面。

HeNe激光器是玻璃管状结构，玻璃是气密性非常优良的材料。HeNe激光器是一种小功率激光器，放电管长十几厘米的激光器输出功率为毫瓦上下，放电管长1~2m 的激光器输出功率可达几十至百毫瓦。HeNe激光器是放电激励的气体激光器的典型代表，它的工作过程、制造工艺和设计器件的方法对其他气体激光器都有参考意义。

单频激光干涉仪使用单频激光器、双纵模热稳频技术进行稳频。由于两纵模的频率间隔约为1GHz，超出了信号处理器的细分运算能力，故其中一个纵模的激光会由偏振片舍弃，测量过程中实际只使用通过偏振片的单纵模激光。终采用零差干涉原理（调幅）进行测量。