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产品详情
规格参数
产品图集
品牌：
科幂仪器
单价：
面议
起订：
总量：
0台
地址：
安徽合肥市
发货：
付款后3天
产品特点
高性能射频电源.等离子体更稳定；滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并
可实现快速升温和降温功能；与传统CVD相比较.生长温度更低。
项目 | 型号 | TFE - 1200 - 50 - 220 |
可达温度 | 1150℃(短期) | |
额定温度 | 1100℃ | |
推荐升温速率 | ≤10℃/min | |
控制精度 | ±1℃ | |
炉管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
炉膛尺寸 | Φ80*220mm | |
加热区长度 | 220mm | |
恒温区长度 | 80mm | |
加热元件 | 国产电阻丝 | |
额定功率 | 3KW | |
供气系统 | 三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制) | |
射频电源 | 射频功：5-500W；射频频：13.56MHz；匹配方式：自动匹配 | |
真空系统 | 双级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等) | |
外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
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| 单价 | 面议 | |
| 询价 | 暂无 | |
| 发货 | 安徽合肥市付款后3天内 | |
| 品牌 | 科幂仪器 | |
| 是否支持定制 | 是 | |
| 规格 | 齐全 | |
| 出货时间 | 根据产品要求定 | |
| 过期 | 长期有效 | |
| 更新 | 2023-09-06 17:48 |
安徽科幂仪器有限公司发布的单温区PE-CVD系统图集库
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