自动多点测量成像
Filmetrics F50系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta平台可接受标准和客制化夹盘,样品直径标配200mm,可达450mm。(稳定的样品台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)
测绘图案可以是极座标、矩形或线性的,您也可以创造自己的测绘方法,并且不受测量点数量的限制。内建数十种预定义的测绘图案。
不同的F50型号仪器是根据波长范围来加以区分的。标准的F50是更受欢迎的产品。一般较短的波长(如F50-UV)可用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
可测样品膜层:
基本上所有光滑的,非金属的薄膜都可以测量。
可测样品包括:
氧化硅氮化硅类金刚石DLC
光刻胶聚合物聚亚酰胺
多晶硅非晶硅硅
额外的好处:
·每台系统内建超过130种材料库,随着不同应用更超过数百种
·应用工程师可立刻提供帮助(周一-周五)
·网上的“手把手”支持(需要连接互联网)
·硬件升级计划