产品描述
iMicro采用InForce 1000驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试，并可选择添加InForce 50驱动器来测试较软的材料。InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。iMicro是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。
主要功能
InForce 1000驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头
可选的InForce 50驱动器提供更大50mN的法向力来测量软性材料，并提供可选的Gemini 2D力荷载传感器用于双轴动态测量。独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准
InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数
XY移动系统以及易于安装的磁性样品架
高刚度龙门架，集成隔振功能
带数字变焦的集成显微镜，可实现准确的压痕定位
ISO 14577和标准化测试方法
InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序
主要应用
硬度和模量测量(Oliver Pharr)
高速材料性质分布
ISO 14577硬度测试
聚合物tan delta，储存和损耗模量
定量刮擦和磨损测试
样品加热
工业应用
大学、研究实验室和研究所
半导体行业
PVD/CVD硬涂层（DLC，TiN）
MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试
陶瓷和玻璃
金属和合金
涂料和油漆
复合材料

电池和储能

汽车和航空航天